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HEPHAIST超薄型X-Y-θ (调整)平台NAF3C-10、NAF3C-16、NAF3C-20、NAF3C-40

上海川代轴承机械有限公司 新闻动态  2025-7-3

CCD对位用X-Y-θ高精度工作台

发布日期:2011-06-18

HEPHAIST超薄型X-Y-θ (调整)平台;

将功能凝聚于超薄机身,具有“超薄型构造简单”、“高刚性”、“高精度”等特点;

滑动部分采用的构造是通过上下2板面将中间板面夹住的“预压型双滑动”构造;

在各板之间装有多个滚珠,实现了平稳滚动运动;

而且由于3个传动装置安装在同一平面上,因此,实现了低重心、超薄的简单构造。对装置的小型化做出了贡献。

型号 NAF3C-10 NAF3C-16 NAF3C-20 NAF3C-30 NAF3C-40
行程 X轴:±2mm X轴:±3mm X轴:±3mm X轴:±3mm X轴:±3mm
X轴:±2mm X轴:±3mm X轴:±3mm X轴:±3mm X轴:±3mm
θ 轴:±2° θ 轴:±3° θ 轴:±3° θ 轴:±3° θ 轴:±3°
工作台尺寸 100mm×100mm 160mm×160mm 200mm×200mm 300mm×300mm 400mm×400mm
基座尺寸 120mm×120mm 170mm×170mm 220mm×220mm 320mm×320mm 400mm×400mm
高度 35mm 45mm 65mm 70mm 80mm
电机 步进电机□20mm 步进电机□24mm 步进电机□42mm 步进电机□42mm 伺服电机50W
平台材质 铁:低温黑色铬处理  铝:黑色耐酸铝处理
重量 2.2kg 6kg 14kg 44kg 60kg
分辨率(出厂设置) 0.2μm/pulse 0.1μm/pulse
重复定位精度 ±1μm以内 ±0.7μm以内 ±1μm以内 ±1μm以内 ±0.7μm以内
无效运动 3μm以内 2μm以内 2μm以内 2μm以内 2μm以内
静止时负载功率 (垂直方向等分布载荷) 50N 500N 1000N 2000N 3000N
移动时负载功率(垂直方向等分布载荷) 10N 100N 200N 400N 500N
平行度 30μm

 

 

 

 

 注:此工作台的结构采用专利技术,且因为有中间承载部份,所以其承载力强,运行平稳。与其它同类产品相比(其它同类产品均无中间承载结构),具有运行平稳,高承载,高刚性,工作面跳动小,长期使用精度稳定等特性。

1、超薄型结构设计;

2、高精度定位;

3、高刚性,大承载,增加设备稳定性;

4、节省安装空间,使设备小型化成为可能;

5、超低重心设计,最大限度减小产品生产时的偏移量;

丝网印刷设备(片状部件、PCB电路板、FPC电路板);

面板贴合、贴装装置(LCD、EL、触摸面板、太阳能电池);

曝光机(片状部件、PCB电路板、FPC电路板);

探测器检测装置(PCB电路板、水晶设备、电子部件、FPD亮灯检测);

等,需高精度、快速、稳定对位的应用。

特殊应用:高速搬运、使用天吊等。

 尺寸图

 

 
型号 H H1 H2 L B Z W A1 T1
NAF3C-10 35 6 6 120 110 4-5.5キリ
φ8深座グリ深サ4.4
100 20 4-M2深6
NAF3C-16 45 8 10 170 150 4-5.5キリ
φ9.5深座グリ深サ5.4
160 60 4-M4深6
NAF3C-20                  
NAF3C-30                  
NAF3C-40 80 15 15 400 370 4-9キリ
φ14深座グリ深サ8.6
400 210 4-M6深15

 

型号 A2 T2 A3 T3 A4 T4 φD M
NAF3C-10 60 4-M3深6 90 4-M4深6
NAF3C-16 90 4-M4深8 110 4-M5深8 150 4-M5深8 20
NAF3C-20                
NAF3C-30                
NAF3C-40 280 4-M6深15 330 4-M8深15 380 4-M8深15 100

 

 

  相关参数

  型号 NAF3A-01 NAF3A-02

机械

参数

行程 X軸:±3mm Y軸:±3mm
θ軸:±3°
X軸:±5mm Y軸:±5mm
θ軸:±3°
台面尺寸 125mm x 125mm 200mm x 200mm
底座尺寸 260mm x 260mm 350mm x 350mm
高度 60mm 60mm
配套电机 步进电机
(□28mm)
步进电机
(□42mm)
材质

钢:低温镀铬发黑处理

铝合金:阳极氧化发黑处理

重量 15kg 35kg

精度

参数

分辨率(出厂设定值) 0.2μm/pulse
双向重复定位精度 ±0.7μm以内 ±0.7μm以内
无效运动 1.0μm以内 1.0μm以内
静载荷
(垂直方向等分布荷重)
500N 1000N
动载荷
(垂直方向等分布荷重)
100N 500N
工作面与底面平行度 30μm以内

 

 尺寸图

 

型号 H H1 H2 L B Z W A1 T1
NAF3A-01 60 24 12 260 230 4-6.6キリ
φ11深座グリ深サ6.5
125 100 4-M6深10
NAF3A-02 60 10 15 350 330 4-9キリ
φ14深座グリ深サ8.6
200 180 4-M6深10

 

型号 A2 T2 A3 T3 A4 T4 φD M
NAF3A-01 40 26
NAF3A-02 60 33

  新的水平高刚性、高精度制品

    在XYθ对位过程中,精度和刚性越来越受到重视。而且随着台面的扩大,也给这类产品的商业化带来了挑战。

    对此,我们在原有产品的基础之上,对其结构进行了优化。使其具有更高的刚性和定位精度。

 特点

高刚性

    在底面的每个方向均装有执行机构,形成4轴驱动。弥补了原有的3轴驱动方案中,水平方向横向刚性稍弱的缺点。使产品在各个方向均具有高刚性!

高精度

    4套执行机构使X、Y方向均有2套执行机构驱动,使得X、Y各方向的运动精度均能保持一致。最大限度的保证了定位精度,使获得更高精度成为可能。(原有的3轴驱动产品,在单轴驱动的X方向,运动时会偏离表面中心,造成了一定的精度损失。且限制了更高精度的应用。)

 结构原理

 

     X、Y方向各有2套执行机构驱动其运动。且两套执行机构的相反运动产生了X或Y方向上的运动。可以起到一定的消除间隙的作用。4轴同时动作,使台面旋转运动。

    有效的提高了产品运动中的各方向的刚性及定位精度。更加适合要求更高刚性、更高精度的应用。

HEPHAIST超薄型X-Y-θ (调整)平台NAF3C-10、NAF3C-16、NAF3C-20、NAF3C-40现货供应,如有需要请及时联系我们。上海川代轴承机械有限公司同时销售 626.2RSR, 63/28, 7011A5TRV1VSULP3, 6303/C4, SL183009A, TKVD15G3HJWWL, 3218FT3, GE18PB, SEB40/NS7LE1DDL, HF-28, BS50/90/20.2RSZ.P4A.QUM, S1113K, MSTU25, KWVE20ESG3V1, MM-7M-500, CR SKY 22X30X5.7, SDE30 OP, 1318, 29522, SSEM20W, 6805ZZ, 25-5B1, 48290/48220D/X2S-48290, BH-1624, SH204, RFP-106、孔径1-3/8(英寸in), KH-3055-10A, 14PM-M264U小电机, R-34S-23/8, BB75, 以上为我司部分轴承型号,如需查找其他型号,可登陆我们的现货中心栏目或致电021-52797858转8008进行详细查询,谢谢!
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